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他原本以为,国产的光刻机起码要落后两到三个代际的。
所以,即便没什么指望,他依然把今天的时间空
来,全当陪太
读书。
黄有
博士一直聚
会神地看着,到最后才问了一句:“180纳米?”
黄博士的目光从照明看到主动减震系统——所有
密设备都放置在上面。因为纳米级的对准
度不能受任何外界振动的
扰。
五年时间,集团前后总共砸
去了六亿
金,好不容易熬
来的金
名曰玄黄。
伊万也支持这个想法,因为他
觉这充满了玄幻武侠神秘主义的
彩,非常符合他的理想主义审
。
光刻机确实很难,他今天来这一趟,倒不是说对国产光刻机有多足的信心,而是纯粹给江副主任面
。
只有这样的生产环境,才能让他相信,他们有可能真的可以生产
光刻机。
王老板
觉幸亏自己有自知之明,没吃这碗技术饭。
显微镜图像被实时投
到观察室的屏幕上。图像清晰显示
一排排线条均匀、边缘锐利、间距为035微米的电路图案。
没有炫目的灯光,也没有振奋人心的声响,只有控制台上
动的数据和状态灯,显示激光正在冰冷而忙碌地工作。
工程师暗自
一
气,在背景风机声中,将一片覆盖有光刻胶的8英寸硅片送
那他们的玄黄。
可以说,江副主任会是他今后在政府
大的人脉。
看完了生产区域,该技术演示了。
人家是砸了真金白银在
光刻机的。
曝光后的硅片被送
一旁的离线检测设备——测量电
显微镜。
郑教授摇
:“不,没人授权给我们,
看到这儿,他暗自松了
气,起码他面对的不是一个草台班
。
王潇不知
二三十年后的光刻机到底
什么样
,也许她在网上看过图片,但她真的不记得了。
江副主任跟他一样,有海外留洋经历,是少见的懂专业技术的官员,他天然能够跟他们技术
的人打成一片。
否则以她的个
,在这能撑过三天不发疯,都是她
化了。
结果没想到还读
了一个惊喜来。
所以光刻机厂把名字放在老板面前时,王潇毫不犹豫地勾选了玄黄。
黄博士犹豫了一
,还是选择了追问:“你们用的是谁家的技术授权?”
对对对,它确实落后了国际先
技术一个代际,但也只是一个代际而已啊。
他既然准备在上海创业,那肯定要跟地方政府打好关系。
“经过测量,我们当前
刻
度已经达到了180纳米。这意味着我们已经成功集成了对准系统,并实现了基本的功能。”
她只知
1999年,
费了大把真金白银,以及包括了五国工程师无数心血的光刻机是个大家伙,
4米,宽3米。
但如果直接叫天地的话,
觉总少了那么一层意思。
以正常的技术发展路径,他的专业告诉他,纯国产机应该达不到这个
平。
甚至一公里外卡车经过产生的震动,也要被减震系统消弭掉。
光刻厂的总工郑教授
:“我们也知
,1995年,日本尼康公司用了248n波
的氟化氪准分
激光
作为光刻机光源后,制程节
就推
到180—130n。现在尼康、佳能、asl已经能实现差不多70纳米的
平。跟人家比起来,我们还有很
的路要走。
一步,我们准备通过优化算法、提升机械稳定
,将指标推
到100纳米的门槛。”
对,就是天地玄黄的那个玄黄。为什么叫玄黄呢?因为玄黄的意思就是天地。
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