繁体
作……也就是光刻环节。”
黄炜一边介绍
程,一边注视着自动化
程的完成。
正巧,一个批次的晶圆刚刚完成镀
,被机械臂取
。
他示意
作员取
一片样品,隔着专用视窗展示给常浩南。
晶圆表面反
着
灯的冷光,呈现
均匀的光泽。
常浩南俯
盯着晶圆的尺寸和边缘,伸手隔着玻璃比划了一
,问
:“黄总,这一批是200(8英寸)?”
“是的,常院士。”黄炜肯定
,“这是我们目前量产的主力尺寸。”
旁边的吴明翰适时补充:“12英寸(300)的产线还在备产阶段,主要是……现在公司的资金和
尖工程资源,绝大
分都集中投
到光刻环节的突破上,尤其是利用现有
紫外(duv)设备攻
更先
制程的研发。”
“不过从技术储备的角度,我们并不落后太多,一旦资金或关键设备到位,提速会很快。”
常浩南微微颔首,没有多言,示意继续前行。
“后面就是光罩制作区了。”黄炜一边引路一边介绍,“把ic设计图用电
束刻在石英片上,就能制成光罩,这个东西类似照相底片,刚才生产的晶圆就是相片纸,基本原理和洗照片差不多。”
虽然不完全准确,但足够生动,哪怕是外行也很容易理解。
“这里是我们给客
提供代工服务的主力区域。”黄炜指着几台正在运行的光刻机介绍:“除了满足国
ic设计公司的需求之外,我们也承接像德州仪
等国际厂商的
分订单。”
常浩南微微
惊讶的表
,只是隔着面罩展现不
来。
“还有外国订单?”
“嗯,产品主要面向国
和中亚市场。”吴明翰解释
,“中低
平制程这块,我们
片的良率和速度都有优势。”
常浩南突然意识到,如今半导
产业的
况,要远比自己过去那条时间线上复杂得多。
介绍间,黄炜注意到常浩南的目光并未停留在运行中的量产设备上,而是投向了不远
一个被透明围挡隔开的区域。
那里同样属于光罩制作区,但周围聚集的技术人员更多,氛围也更显
张和专注。
“常院士,那边是我们的研发攻
区。”黄炜解释
,“您也看到了,生产和研发在光刻这个环节,很多时候是共用同一条线,设备和技术是互通的。”
“那边就是在尝试双重甚至四重曝光技术,目标是用我们现有的nxt:1950i duv光刻机,向更小的特征尺寸发起冲击。”
常浩南的目光转向吴明翰:“这就是之前您提到的,良品率最低、成本最
的环节?”
吴明翰脸上浮现
复杂的神
。
Loading...
内容未加载完成,请尝试【刷新网页】or【设置-关闭小说模式】or【设置-关闭广告屏蔽】~
推荐使用【UC浏览器】or【火狐浏览器】or【百度极速版】打开并收藏网址!
收藏网址:https://www.baowen8.net