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学霸的军工科研系统 第1429(3/3)

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作……也就是光刻环节。”

黄炜一边介绍程,一边注视着自动化程的完成。

正巧,一个批次的晶圆刚刚完成镀,被机械臂取

他示意作员取一片样品,隔着专用视窗展示给常浩南。

晶圆表面反灯的冷光,呈现均匀的光泽。

常浩南俯盯着晶圆的尺寸和边缘,伸手隔着玻璃比划了一,问:“黄总,这一批是200(8英寸)?”

“是的,常院士。”黄炜肯定,“这是我们目前量产的主力尺寸。”

旁边的吴明翰适时补充:“12英寸(300)的产线还在备产阶段,主要是……现在公司的资金和尖工程资源,绝大分都集中投到光刻环节的突破上,尤其是利用现有紫外(duv)设备攻更先制程的研发。”

“不过从技术储备的角度,我们并不落后太多,一旦资金或关键设备到位,提速会很快。”

常浩南微微颔首,没有多言,示意继续前行。

“后面就是光罩制作区了。”黄炜一边引路一边介绍,“把ic设计图用电束刻在石英片上,就能制成光罩,这个东西类似照相底片,刚才生产的晶圆就是相片纸,基本原理和洗照片差不多。”

虽然不完全准确,但足够生动,哪怕是外行也很容易理解。

“这里是我们给客提供代工服务的主力区域。”黄炜指着几台正在运行的光刻机介绍:“除了满足国ic设计公司的需求之外,我们也承接像德州仪等国际厂商的分订单。”

常浩南微微惊讶的表,只是隔着面罩展现不来。

“还有外国订单?”

“嗯,产品主要面向国和中亚市场。”吴明翰解释,“中低平制程这块,我们片的良率和速度都有优势。”

常浩南突然意识到,如今半导产业的况,要远比自己过去那条时间线上复杂得多。

介绍间,黄炜注意到常浩南的目光并未停留在运行中的量产设备上,而是投向了不远一个被透明围挡隔开的区域。

那里同样属于光罩制作区,但周围聚集的技术人员更多,氛围也更显张和专注。

“常院士,那边是我们的研发攻区。”黄炜解释,“您也看到了,生产和研发在光刻这个环节,很多时候是共用同一条线,设备和技术是互通的。”

“那边就是在尝试双重甚至四重曝光技术,目标是用我们现有的nxt:1950i duv光刻机,向更小的特征尺寸发起冲击。”

常浩南的目光转向吴明翰:“这就是之前您提到的,良品率最低、成本最的环节?”

吴明翰脸上浮现复杂的神

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