他再拿起第三片：“这是‘显影缺陷’……工艺窗太窄，稍有不慎，图案就毁了……”

“……”

他如数家珍般介绍着每一类报废的原因，语气平静，却像在展示一场场微缩战役的遗迹。

“这些，都算是我们的学费……不过，在euv光刻机很可能无法获取的当，这是我们唯一能看到的、通往更先制程的技术途径。”

话语里听不太多抱怨，只有一面对客观规律的无奈。

常浩南的目光缓缓扫过这片目惊心的“报废陈列区”，在这些承载着昂代价和失败印记的晶圆上停留了几秒。

就在他移开目光的瞬间，视线落在了陈列台旁边墙上一个不起的展示框。

框里并非照片或奖状，而是一张略显陈旧、线条密集的工程结构图。

或者更严格来说是一系列结构图。

看上去已经有些年了，以至于上面标注的各光学参数和镜片结构都有些模糊。

“这个……是镜组的设计图？”常浩南走近几步，指着那张图，“你们还过光刻设备的研发？”

旁边几个人都微微一怔，没想到常浩南会注意到这个角落。

“常院士好力。”吴明翰走上前解释：“不过这是……好些年前的事了。”

他来到那张图面前站定，上打量了一番：

“世纪初那会儿，国连紫外光刻机都几乎是空白，我们确实组建过一个研发团队，尝试自研心件，尤其是镜系统……这张图上面列来的，就是陆续设计来的一系列成果。”

他语气带着一丝缅怀和慨：

“不过我们毕竟资源有限，不能过于分散力去搞设备研发……而且光所和沪光所那边也很快承担起了光刻机整机和心件的攻关任务，所以我们评估后，就停止了这方面的项目，把力量集中在工艺优化和制程提升上，研究也就止步于这些图纸了。”

他指了指图上复杂的透镜排布：

“您看，这是典型的全折式设计，依靠大量度透镜的组合来聚焦光线，而现在主先的浸没式光刻机，用的都是更复杂、更密，但也更大的折反式镜组，能结合反镜和折镜的优势。”

提起这段历史，人群中的气氛一时间有些微妙。

一直安静旁听的周学此时也开补充：

“虽然最后也没亲自场造光刻机，但这段早期的研发投也不算白费……我们对光刻工艺本质的理解主要来源于这个阶段，也后来快速收和掌握设备，还有攻生产工艺打了基础。”

常浩南凝视着那张略显泛黄的图纸，手指在展示框的玻璃上轻轻划过那些代表透镜的圆形廓和代表光路的线，若有所思地了。

还有一些问题，他本来是打算再去一趟光所看看的。

但现在看来，似乎省事了。

两手准备

参观结束，一行人来到基地楼一间安保级别极的专用会议室。

厚重的隔音门关闭，只剩心的几人。

短暂的沉默后，常浩南端起茶杯抿了一，放，目光直接投向吴明翰。

“吴院士，抛开继续优化多重曝光和分辨率增技术这条路不谈，在现有的193n arf光源条件，要想提升单次曝光的分辨率，还有没有更直接的技术路径？”

手握负折材料这么个王炸，那最本的解决方案当然是走向表面等离光刻，由携带频信息的倏逝波取代低频的传输波成像，直接掘了当前半导生产系

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