常浩南一直专注地听着，此刻微微皱起了眉：“浸没这块我不熟悉，不过……底镜为什么不能用折率更的材料？”

吴明翰并非光学系统，但这分知识对于半导生产领域而言不算特别前沿，所以也能很快解释清楚：

而是足够。

“na值，简单说，决定了光学系统收集和汇聚光线的能力，这个项越，理论上能达到的分辨率极限就越小。”

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然而，这个结果却没有让常浩南到气馁。

“来说，na等于底镜、浸没和光刻胶三者折率（n）的乘积，再乘以孔径角半角的正弦值，当然光刻胶和孔径角的设计自由度有限，所以主要是另外两项的材料。”

所以为了应对前随时可能现的危机，最好还是能在现有基础上，整来短平快的升级手段。

这是之前实验过程中用过的。

的祖坟。

吴明翰一直在思索常浩南的真正目的，但这个问题实在普通，究不什么东西来。

单

这绝非一个外行能随问的问题。

无论答案是什么，都烈地印证了一：常院士此行，绝对带着明确的技术目的和解决方案而来！

他拿起激光笔，在桌面投一个简易的光路示意图：

无论“突破衍极限”的猜想是否能够成行，负折率材料天生的负散特总归是确定存在的。

“我们目前使用的nxt：1950i，是氟化钙底镜，合2g系列的浸没，na最能达到135左右，更先的nxt：2000i，底镜是能更好的氟化锂钡，浸没也是优化的3g系列，能把na推到145左右。”

这个问题一，会议室包括周学、黄炜在的所有人，几乎同时神一振。

“在相同波的光源，不同型号光刻机，比如我们现在用的nxt：1950i和asl更先的nxt：2000i，它们能差异的心指标还是数值孔径（na）和工艺系数。”

他先是捧了一番，然后话锋一转：

尤其是在他听对方说起像差和差的时候——

“……”

但这事相当于从零开始盖楼，连理论基础都要重新来过，显然不是一朝一夕能完成的。

“总之，目前还不到。”

倒不是说问题本有多。

接着又补充了一个更详细的数字：“我记得……镥铝石榴石的折率能接近19？”

“设计镜组的过程中一方面要防止系统多个反镜之间遮拦成像光束，另一方面还要尽可能降低因为超折率而导致的像差和散差，难度极……就算设计能够实现，也需要引更多的镜片元件、更复杂的曲面设计……”

吴明翰立刻回应：“镥铝石榴石确实是目前已知的、在紫外波段折率最的透明材料……理论上，如果能将它成功应用于镜底镜，结合目前最端的第三代浸没，确实有可能将na值提升到170……或者更。”

吴明翰放激光笔，看向常浩南：

只好照常回答：

激光笔的光停留在象征镜的透镜组位置：

“不过，这基本就是传统技术路线的极限了。”

“不过，折率带来的na值也有弊端。”他再次拿起激光笔，在刚才的示意图上着重描绘底镜的位置：“一个优秀的光刻镜组，要求光线在系统的走势尽可能平，而光线的大折角传播则必定给系统带来较大的像差和散差。”